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                陶瓷散熱基板工藝

                更新時間:2015-03-26

                分類

                ◆ LTCC (Low-Temperature Co-fired Ceramic)

                ◆ HTCC (High-Temperature Co-fired Ceramic)

                ◆ DBC (Direct Bonded Copper)

                ◆ DPC (Direct Plate Copper)

                LTCC

                  LTCC 又稱為低溫共燒多層陶瓷基板,此技術須先將無機的氧化鋁粉與約30%~50%的玻璃材料加上有機黏結劑,使其混合均勻成為泥狀的漿料,接著利用刮刀把漿料刮成片狀,再經由一道干燥過程將片狀漿料形成一片片薄薄的生胚,然后依各層的設計鉆導通孔,作為各層訊號的傳遞,LTCC內部線路則運用網版印刷技術,分別于生胚上做填孔及印制線路,內外電極則可分別使用銀、銅、金等金屬,最后將各層做疊層動作,放置于850~900℃的燒結爐中燒結成型。

                LTCC生產流程圖LTCC生產流程圖

                HTCC

                  HTCC又稱為高溫共燒多層陶瓷,生產制造過程與LTCC極為相似,主要的差異點在于HTCC的陶瓷粉末并無加入玻璃材質,因此,HTCC的必須再高溫1300~1600℃環境下干燥硬化成生胚,接著同樣鉆上導通孔,以網版印刷技術填孔與印制線路,因其共燒溫度較高,使得金屬導體材料的選擇受限,其主要的材料為熔點較高但導電性卻較差的鎢、鉬、錳…等金屬,最后再疊層燒結成型。

                DBC

                  DBC直接接合銅基板,將高絕緣性的AL2O3或ALN陶瓷基板的單面或雙面覆上銅金屬后,經由高溫1065~1085℃的環境加熱,使銅金屬因高溫氧化、擴散與Al2O3材質產生(Eutectic) 共晶熔體,使銅金與陶瓷基板黏合,形成陶瓷復合金屬基板,最后依據線路設計,以蝕刻方式備制線路。

                DBC生產流程圖

                DPC

                  DPC亦稱為直接鍍銅基板,首先將陶瓷基板做前處理清潔,利用薄膜專業制造技術-真空鍍膜方式于陶瓷基板上濺鍍結合于銅金屬復合層,接著以黃光微影之光阻被覆曝光、顯影、蝕刻、去膜工藝完成線路制作,最后再以電鍍/化學鍍沉積方式增加線路的厚度,待光阻移除后即完成金屬化線路制作。

                DPC生產流程圖

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