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                • 叉指電極的技術參數

                   

                  項目 參數 單位
                  線寬 >70 μm
                  線距 >70 μm
                  金屬層厚度 >1 μm
                  耐溫測試 -50~150
                  金屬層 鎳,銅,金,鎳-磷,金錫合金
                  基體

                  氧化鋁,氮化鋁,玻璃,硅片,壓電陶瓷,微波介電陶瓷,塑料薄膜。

                  注:具體陶瓷性能和型號的選擇可以參考本頁描述。

                • 納米多孔金層

                  在導體和絕緣體表面上獲得納米多孔金層,可作為電化學傳感器,生物傳感器和高敏感電極材料。加工方法是在導電化處理后的表面電鍍金錫的合金,再通過化學蝕刻的方式去除掉錫元素,從而獲得納米級多孔的金層。本公司提供多孔金的加工服務和金錫合金鍍液服務。獲得的多孔金的外觀照片效果如下:

                   

                     

                   1.a)上部分是電鍍金錫合金處理,(b)35%硝酸中除去錫獲得的多孔金,(c)5M氫氧化鈉和1M雙氧水中去錫獲得的多孔金. 

                    

                                    圖2.多孔金顯微SEMEDX能譜       3. 金錫合金和納米多孔金的XRD譜圖         圖4.泡沫鎳表面加上的多孔金電極SEM及XRD譜圖. 

                • 高透明陶瓷

                  藍寶石襯底和石英玻璃的力學、電學性能

                  項目 參數 單位 備注
                  主要成分 氧化鋁(Al2O3)   藍寶石襯底
                  莫氏硬度 9(僅次于鉆石:10)    
                  熱導率 25.12 W/m·k 100℃
                  介電常數 11.5(//c),9.3(⊥c)    
                  折射率 no=1.768 ne=1.760 μm  
                  透光特性 T≈80%(0.3-5μm) μm  
                         
                  石英玻璃純度 99.9%    
                  莫氏硬度 7(僅次于鉆石:10)    
                  熱導率 >18.45 kV/mm  
                  體積電阻率 1x1019  Ω·cm  20℃
                  介電常數 11.5(//c),9.3(⊥c)   1Mhz
                  折射率 1.544 μm  
                  熱電常數 1200μV/℃   300℃
                  透光特性 T≈80%(0.3-5μm)    

                   

                • 高絕緣陶瓷基板

                  氧化鋁和氮化鋁的力學、電學性能

                  項目 參數 單位 備注
                  主要成分 氧化鋁(Al2O3)    
                  擊穿電壓 >20.0 kV/mm  
                  介電常數 9.8   1Mhz
                  介電損耗 3.0 10-4 1Mhz
                  粗糙度Ra <0.5 μm  
                  厚度偏差 ±20.0 μm  
                  剝離強度 >5.0 N/mm  
                         
                  主要成分 氮化鋁(AlN)    
                  抗折強度 MPa    
                  擊穿電壓 >18.45 kV/mm  
                  體積電阻率 >1x1014 Ω·cm 25℃
                  介電強度 8.56   1Mhz
                  粗糙度Ra 0.3-0.5 μm  
                  剝離強度 >4.0 N/mm  
                • 工藝加工參數

                  項目

                  參數

                  單位

                  最小線寬線距

                  70*70

                  μm

                  金屬厚度

                  <10

                  μm

                  導電層

                • 高介電性陶瓷

                  材料編碼
                  介電常數
                  品質因數
                  (Ghz)
                  頻率溫度系數(ppm/℃)
                  比重
                  g/m3
                  CBS-4
                  3.8±0.2
                  20,000
                  2.2
                  ZST-7
                  6.8±0.2
                  70,000
                  -40±5
                  4.1
                  ZST-10
                  10.0±0.2
                  65,000
                  5
                  4.2
                  MST-12
                  12.0±0.3
                  150,000
                  -50±5
                  3.6
                  MTC-13
                  12.8±0.2
                  60,000
                  5
                  MST-16
                  16.0±0.3
                  60,000
                  4
                  3.9
                  BCT-12
                  21.0±0.3
                  60,000
                  3
                  3.8
                  BMT-24
                  24.0±0.3
                  200,000
                  2
                  7.5
                  MLT-26
                  26.0±0.3
                  60,000
                  3
                  4.0
                  BZN-32
                  32.0±0.3
                  70,000
                  3
                  5.8
                  BZT-35
                  35.0±0.5
                  50,000
                  3
                  4.6
                  BZT-36
                  36.0±0.5
                  50,000
                  3
                  4.6
                  ZST-38
                  39.0±0.5
                  55,000
                  2
                  5.0
                  ZNT-45
                  45.0±0.5
                  40,000
                  2
                  4.8
                  ZNT-50
                  50.0±0.7
                  30,000
                  20±5
                  4.9
                  BST-78
                  78.0±1.0
                  10,000
                  5±5
                  5.6
                  BSNT-85
                  85.0±1.0
                  8,000
                  10
                  5.6

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